同时，微动平台转动时具有迟滞现象，激光位移传感器所测得的实验数据利用最

同时，微动平台转动时具有迟滞现象，激光位移传感器所测得的实验数据利用最小拟合二乘法得到如图12b的结果，其迟滞环斜率为 mrad/V。

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At the same time, there is a hysteresis phenomenon when the micro-motion platform rotates. The experimental data measured by the laser displacement sensor uses the least fitting square method to obtain the result as shown in Figure 12b, and the hysteresis loop slope is mrad/V.

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At the same time, when the micro-platform rotates, there is a hysteresis phenomenon, and the experimental data measured by the laser displacement sensor obtain the result of Figure 12b by using the minimum fitted diplier, and its hysteresis ring slope is mrad/V.

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At the same time, there is hysteresis phenomenon when the micro motion platform rotates. The experimental data measured by the laser displacement sensor are obtained by using the least fit two multiplication as shown in Fig. 12b, and the hysteresis loop slope is mrad / v.<br>

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