采样频率为1kHz,施加到PEA的最大电压为20mv，通过多次实验测得

采样频率为1kHz,施加到PEA的最大电压为20mv，通过多次实验测得输出平台转动角度如图14所示，输出分辨率约为10nm。

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The sampling frequency is 1kHz, and the maximum voltage applied to the PEA is 20mv. The rotation angle of the output platform measured through multiple experiments is shown in Figure 14. The output resolution is about 10nm.

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The sampling frequency is 1kHz, the maximum voltage applied to the PEA is 20mv, and the rotation angle of the output platform is measured by many experiments, as shown in Figure 14, with an output resolution of about 10nm.

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The sampling frequency is 1kHz, and the maximum voltage applied to pea is 20mV. The rotation angle of output platform is measured through many experiments, as shown in Figure 14, and the output resolution is about 10nm.

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