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在对微动平台进行性能测试之前，需要检测环境中的噪声是否符合实验要求。未
在对微动平台进行性能测试之前，需要检测环境中的噪声是否符合实验要求。未对微动平台施加电压时，利用激光位移传感器测试微动平台运动方向的输出位移，图11给出了噪声影响下，平台绕Z轴转动时，位移输出检测结果，输出位移和分辨率分别为0.143μm和 1.825mrad
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Before the performance test of the micro-motion platform, it is necessary to check whether the noise in the environment meets the experimental requirements. When no voltage is applied to the micro-motion platform, the laser displacement sensor is used to test the output displacement of the micro-motion platform in the direction of movement. Figure 11 shows the displacement output detection results when the platform rotates around the Z axis under the influence of noise. The output displacement and resolution are respectively 0.143μm and 1.825mrad
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Before performing performance testing on a microdyscope platform, it is necessary to detect whether the noise in the environment meets the experimental requirements. When the voltage is not applied to the micro-platform, the laser displacement sensor is used to test the output displacement of the motion direction of the micro-platform, and Figure 11 shows the output detection results of the displacement when the platform rotates around the Z-axis under the influence of noise, and the output displacement and resolution are 0.143 m and 1.825mrad, respectively
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Before the performance test of the micro motion platform, it is necessary to detect whether the noise in the environment meets the experimental requirements. When no voltage is applied to the micro motion platform, the laser displacement sensor is used to test the output displacement of the micro motion platform in the direction of motion. Fig. 11 shows the displacement output test results when the platform rotates around the Z axis under the influence of noise. The output displacement and resolution are 0.143 μ M and 1.825 mrad respectively<br>
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