当压电驱动器受到阶跃电压信号时，将激光位移传感器收集到的输出位移利用傅

当压电驱动器受到阶跃电压信号时，将激光位移传感器收集到的输出位移利用傅里叶变换（FFT）得到的频谱分析结果，如图13所示。其微动平台一介固有频率为 Hz,与理论计算和有限元仿真结果的相对误差分别为 %、 %。

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When the piezoelectric actuator receives a step voltage signal, the output displacement collected by the laser displacement sensor is analyzed by the Fourier transform (FFT), as shown in Figure 13. The natural frequency of the micro-motion platform is Hz, and the relative errors of the theoretical calculation and finite element simulation results are% and% respectively.

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When the voltage-voltage driver is subjected to a step voltage signal, the output displacement collected by the laser displacement sensor uses the spectrum analysis results obtained by fourleet transformation (FFT), as shown in Figure 13. The natural frequency of the micro-platform is Hz, and the relative error of theoretical calculation and finite particle simulation results is %, respectively.

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When the piezoelectric driver receives the step voltage signal, the output displacement collected by the laser displacement sensor is analyzed by Fourier transform (FFT), as shown in Figure 13. The first natural frequency of the micro motion platform is Hz, and the relative errors with the theoretical calculation and finite element simulation results are%,%, respectively.

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