对去量主要影响因素——抛光力进行测量，总结抛光力稳定状态规律，并对其建

对去量主要影响因素——抛光力进行测量，总结抛光力稳定状态规律，并对其建模实现对抛光力的预测。

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Measure the polishing force, the main influencing factor of the amount, summarize the steady state law of the polishing force, and model it to realize the prediction of the polishing force.

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The polishing force, which is the main influencing factor of removal, is measured, the steady-state law of polishing force is summarized, and its modeling is established to predict the polishing force.

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The polishing force, which is the main influencing factor of the removal, is measured, the steady state law of the polishing force is summarized, and the polishing force is predicted by modeling.

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