自检顺序：1，Z轴上升最高位置，同时镜头恢复到最小倍率2，XY在整个行

Trình tự tự kiểm tra: <br>1. Trục Z tăng lên vị trí cao nhất và thấu kính quay trở lại độ phóng đại tối thiểu <br>2. XY di chuyển một lần trong toàn bộ hành trình và quay trở lại vị trí bắt đầu để dừng lại. <br>3. Z -axis giảm dần và di chuyển xuống khoảng một nửa hành trình. Dừng lại ở vị trí bắt đầu <br>4, ánh sáng đường viền chuyển từ tối sang sáng, sau đó tự kiểm tra từ sáng sang tối <br>5, nguồn sáng bề mặt sáng lên từng cái một theo đến khu vực, và sau đó tắt lần lượt từ vòng trong đến vòng ngoài <br>6, bài kiểm tra tự kết thúc

Trình kiểm tra tự động:<br>1. Các trục z nâng cao vị trí cao nhất, và kính quay trở lại độ phóng đại tối thiểu.<br>2. XY di chuyển một lần trong to àn bộ dòng, quay lại vị trí khởi động và dừng lại<br>Cái trục Z này hạ xuống, di chuyển xuống khoảng phân nửa dòng, rồi quay lại vị trí bắt đầu để dừng lại.<br>4. Ánh sáng dẫn đường từ bóng tối đến rực rỡ, rồi từ sáng tới tối<br>Chỉ năm. Nguồn sáng mặt đất được chiếu từng cái một theo phân khu, và sau đó tắt từng cái một từ vòng trong tới vòng ngoài.<br>6. Kết thúc tự kiểm tra

Thứ tự kiểm tra:1, trục Z tăng lên vị trí cao nhất, và camera được khôi phục tới độ phóng đại nhỏ nhất2, XY di chuyển một lần trong suốt toàn bộ hành động để trở lại vị trí bắt đầu dừng lại3, trục Z bị giảm xuống, có thể một nửa tiến hành để quay lại vị trí bắt đầu bị dừng lạiBốn, từ bóng tối đến sáng, sau đó từ sáng đến bí mật kiểm tra5, ánh sáng bề mặt được thắp sáng một cách riêng lẻ từ khe vào một vòng tròn khác6, kiểm tra kết thúc