Trong phần 15,7 và 15,10, nó đã được thảo luận rằng điện dung off-line và các xét nghiệm yếu tố tản có thể phát hiện vấn đề như sản xuất kém, nhiệt, và quanh co. dẫn đến việc theo dõi đúng. Mới một phương pháp trực tuyến đo C và DF đã được giới thiệu để phát hiện các vấn đề tương tự. ...
正在翻译中..