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现在有2枚掉落的Pad,1枚交给客户进行成分分析。还有1枚客户需要暂时
现在有2枚掉落的Pad,1枚交给客户进行成分分析。还有1枚客户需要暂时恢复4号机,所以客户自己用胶水将环粘在了坏的手臂。然后安装给了PAC04.测试了几片wafer,但是还是发生了SH Vacuum leak的问题。
现在有2枚掉落的Pad,1枚交给客户进行成分分析。还有1枚客户需要暂时恢复4号机,所以客户自己用胶水将环粘在了坏的手臂。然后安装给了PAC04.测试了几片wafer,但是还是发生了SH Vacuum leak的问题。
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2つのドロップパッド、顧客への1つの梅の成分分析があります。お客様自身の使用ののりが悪い腕にリングを固執するので、一時的に、クライアント・マシン4号を復元する必要があります。そして、ウェハのいくつかのスライステスト済み。PAC04にインストールしますが、問題のSH真空リークが行われました。
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現在、2つのドロップパッドがあり、1つは成分分析のために顧客に渡されます。 また、1つの顧客は、一時的に4機を復元する必要があるので、顧客自身が接着剤で悪い腕にリングを接着します。 その後、PAC04.はwaferのいくつかのスライスをテストするためにインストールされましたが、SH Vacuum leakの問題が発生しました。
正在翻译中..
结果 (
日语
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現在は2枚の落下したPadがあり、1枚を顧客に渡して成分分析を行っています。もう1つのお客様は一時的に4号機を回復する必要がありますので、お客様は自分でのりでリングを壊れた腕にくっつけました。そしてPAC 04に取り付けました。何枚かのwaferをテストしましたが、SH Vacuum leakの問題が発生しました。
正在翻译中..
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