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使用干涉仪测量输出平台的位移与转动半径的比值来确定其工作范围。一个10
使用干涉仪测量输出平台的位移与转动半径的比值来确定其工作范围。一个10V、频率为0.1Hz的电压信号施加到驱动器上，输出平台Z轴转动的工作范围如图12所示。
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Use an interferometer to measure the ratio of the displacement of the output platform to the radius of rotation to determine its working range. A 10V voltage signal with a frequency of 0.1Hz is applied to the driver, and the working range of the Z-axis rotation of the output platform is shown in Figure 12.
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Use an interferometer to measure the ratio of the displacement of the output platform to the rotation radius to determine its operating range. A 10V voltage signal with a frequency of 0.1Hz is applied to the driver, and the operating range of the Z-axis rotation of the output platform is shown in Figure 12.
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The interferometer is used to measure the ratio of the displacement and the rotation radius of the output platform to determine its working range. A 10V voltage signal with frequency of 0.1Hz is applied to the driver, and the working range of z-axis rotation of the output platform is shown in Figure 12.<br>
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